Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics
Lomonosov Moscow State University

Диссертационная работа посвящена исследованию модификации новых, перспективных в технологии микроэлектроники материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью (low-k материалов) под действием ультрафиолетового излучения в широком диапазоне длин волн. Проанализировано влияние отдельных свойств данных материалов на механизмы и степень взаимодействия с УФ излучением. Для исследования возможности минимизации степени воздействия УФ излучения на low-k материалы разработан метод контроля уровня интенсивности УФ излучения в плазме аргона. На основе реализованных оптических методов предложен механизм снижения интенсивности УФ излучения в высокочастотном емкостном разряде плазмы аргона, который основан на добавлении примесей молекулярных газов (кислород, водород и азот) в основной газ аргон.
Основное содержание и результаты диссертационного исследования изложены в 5 статьях в рецензируемых журналах, и доложены на 4-х международных конференциях

На заседании диссертационного совета 30 сентября 2015 года (протокол № 3) создана экспертная комиссия по рассмотрению и подготовке заключения по диссертации К.А.Курчикова в составе: д.ф.-м.н. А.Ф.Паль(председатель), д.ф.-м.н.А.Н.Грум-Гржимайло, д.ф.-м.н. О.В.Тихонова.

На заседании диссертационного совета 07 октября 2015 года (протокол № 6) диссертация К.А.Курчикова принята к защите с назначением
в качестве официальных оппонентов
д.ф.-м.н. А.В.Филиппова, зав.отделом ГНЦ "Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований", г.Москва, г.Троицк;
к.ф.-м.н. А.А.Кудрявцева, доцента физического факультета Санкт-Петербургского государственного университета, г.Санкт-Петербург;
в качестве ведущей организации
Физико-технологического института РАН (ФТИАН), г.Москва
На заседании 16 декабря 2015 г. диссертационный совет принял решение присудить Курчикову К.А. ученую степень кандидата физико-математических наук.
При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 22 человек, из них 12 докторов наук по специальности 01.04.08 – физика плазмы, участвовавших в заседании, из 26 человек, входящих в состав совета, проголосовали: за – 22 , против – нет, недействительных бюллетеней – нет