ПЛАЗМЕННО И ТЕРМИЧЕСКИ СТИМУЛИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК: МНОГОМЕРНЫЕ МОДЕЛИ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРОВ

Целью диссертационной работы является разработка полноразмерных моделей и моделирование плазмохимических(химических) и транспортных процессов активации Н/C смесей(с различными добавками борных, азотных, кислородных компонент и/или инертных газов) газоразрядными источниками(дуговым плазмотроном, разрядом постоянного тока, СВЧ разрядом) или термическим источником(горячей нитью) для газофазного химического осаждения алмазных пленок, а также формирование целостной картины функционирования этих реакторов с помощью развитых моделей и их обязательным тестированием на массивах разнообразных экспериментальных данных.

В реакторах с ГН специальное исследование посвящено важному для активации рабочих смесей процессу каталитической диссоциации молекул водорода и азота на горячей нити.

Размер файла: 729.54 КБ, последнее обновление 08.11.2013 13:50

Автор: Манкелевич Юрий Александрович

Защищаемая степень: д.ф.-м.н.

Дата рассылки: 19 Декабря, 2013