Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах

Размер файла: 1.38 МБ, последнее обновление 16.11.2012 02:24

Автор: Волошин Дмитрий Григорьевич

Защищаемая степень: к.ф.-м.н.

Дата рассылки: 23 Марта, 2011