Целью диссертационной работы являлось экспериментально изучить процессы образования дефектов в пленках кремния на сапфире под действием ионного облучения и выявить механизмы эпитаксиальной твердофазной рекристаллизации.
File size: 1.02 MB, updated 28.08.2013 14:25
Author: Шемухин Андрей Александрович
Defend degree: к.ф.-м.н.