Целью диссертационной работы являлось экспериментально изучить процессы образования дефектов в пленках кремния на сапфире под действием ионного облучения и выявить механизмы эпитаксиальной твердофазной рекристаллизации.
Размер файла: 1.02 МБ, последнее обновление 28.08.2013 14:25
Автор: Шемухин Андрей Александрович
Защищаемая степень: к.ф.-м.н.