File size: 424.14 KB, updated 16.11.2012 02:24
Author: Малыхин Евдоким Михайлович
Defend degree: к.ф.-м.н.
Mail dates: 18 May, 2011
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) |