Размер файла: 424.14 КБ, последнее обновление 16.11.2012 02:24
Автор: Малыхин Евдоким Михайлович
Защищаемая степень: к.ф.-м.н.
Дата рассылки: 18 Мая, 2011
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм)
Размер файла: 424.14 КБ, последнее обновление 16.11.2012 02:24
Автор: Малыхин Евдоким Михайлович Защищаемая степень: к.ф.-м.н. Дата рассылки: 18 Мая, 2011 |