Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм)

Размер файла: 424.14 КБ, последнее обновление 16.11.2012 02:24

Автор: Малыхин Евдоким Михайлович

Защищаемая степень: к.ф.-м.н.

Дата рассылки: 18 Мая, 2011