Укрепление кооперации – важный для НИИТМ (входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) инструмент для развития научного и технического потенциала компании. Взаимодействие с другими ведущими организациями позволяет обмениваться накопленными знаниями и опытом в области разработки технологического оборудования, что способствует достижению стратегических целей компании и отрасли в целом.
Так, команда НИИТМ выполнила несколько проектов в кооперации с учёными отдела микроэлектроники Научно-исследовательского института ядерной физики имени Д. В. Скобельцына (НИИЯФ) МГУ имени М. В. Ломоносова. Сотрудничество началось в 2022 году, за это время был проведен ряд совместных работ в части разработки оборудования атомно-слоевого травления, плазмохимического травления и плазмохимического осаждения из газовой фазы.
Первым совместным проектом НИИТМ и НИИЯФ МГУ стали исследования процессов атомно-слоевого травления, включающее проведение измерений непосредственно во время выполнения технологической операции.
Затем стартовали работы по изучению параметров высокочастотной плазмы низкого давления: плотности, энергии ионов и равномерности их распределения в реакторе ВЧ-плазмы. Данные работы необходимы для создания реакторов, которые могут встать в один ряд с зарубежными аналогами. Подобный научный подход и дальнейший анализ являются неотъемлемой частью процесса создания оборудования для современных технологических процессов.
Далее были проведены исследования спектров излучения ВЧ-плазмы. На их основе ученые и инженеры определили условия проведения процессов и параметров травления. Также данные, полученные при измерении излучения ВЧ-плазмы в широком диапазоне от УФ до ИК, легли в основу работы системы определения начала и окончания процесса травления.
В дальнейшем для автоматизации плазмохимического травления был разработан и реализован программно-аппаратный комплекс для определения окончания процесса (Endpoint), который способствует улучшению контроля над технологической операцией и значительно повышает качество травления.
Продолжением совместной работы НИИТМ и НИИЯФ МГУ стало проведение испытаний реакторов травления экспериментальных образцов оборудования НИИТМ. Полученные результаты позволили внести несколько изменений, которые положительным образом сказались на работе технологических модулей и улучшили качество техпроцессов.