В данной работе представлены экспериментальные и теоретические результаты по иссле-
дованию процессов генерации вакуумного ультрафиолетового излучения с использованием
матрицы микроразрядов. Предложена оригинальная конструкция многозазорной электрод-
ной структуры и реализована схема организации комбинированного (двойного) разряда, при
которой сильноточный разряд короткой длительности инициируется барьерным разрядом.
Создана теоретическая модель разработанного источника ВУФ излучения. Численными ме-
тодами исследована зависимость энергетической эффективности рассматриваемого источни-
ка ВУФ от величины приведенного электрического поля в плазме газового разряда, давления
рабочей смеси газов и ее состава. Показано, что предлагаемый способ организации излу-
чающего разряда пригоден для создания источников ультрафиолетового излучения с интен-
сивностью излучения порядка $\10^18$ фотонов/$\см^2$ с высокой энергетической эффективностью.
Номер документа: 2002 -16/700
Авторы: С.Г. Дамбраускас, В.В. Иванов, К.С.Клоповский, Е.А.Крылова, Т.В. Рахимова, В.Б. Саенко
Email: VSaenko@mics.msu.su